Вакуумметры — измерители общих давлений

Вакуумметр ВР-4

Радиоизотопный вакуумметр ВР-4 (рис. 1) предназначен для измерения давления газов в диапазоне давлений от 10-⁴ до 760 мм рт. ст. как в лабораторных, так и в производственных условиях.

Вакуумметр ВР-4 состоит из измерительной установки с выносным каскадом и радиоизотопного преобразователя МР-8 (рис. 2). Принцип работы преобразователя основан на свойстве альфа-частиц ионизировать газ, в результате чего образуется ионный ток, пропорциональный давлению газа.

Весь диапазон измеряемых вакуумметром давлений подразделяется на шесть поддиапазонов, переключение которых может осуществляться как вручную, так и автоматически. При работе вакуумметра в режиме автоматического переключения поддиапазонов на передней панели прибора зажигается цифровой индикатор, показывающий номер поддиапазона.

Вакуумметр ВР-4 имеет выход на пишущий прибор. Запись может производиться как при ручном, так и при автоматическом режиме работы.

Преобразователь можно присоединять к вакуумной системе при помощи грибкового уплотнения D_y-20 или фланца D_y-25.

Используемый в манометрическом преобразователе МР-8 в качестве радиоактивного вещества плутоний-238 не имеет проникающих излучений. Поэтому прибор безопасен в эксплуатации, не нуждается в дополнительной защите от излучений, а к помещению, в котором он устанавливается, не предъявляется особых требований.

Категорически запрещается вскрывать преобразователь.

Вакуумметр ВТ-2А

Термопарный вакуумметр ВТ-2А (рис. 1) предназначен для измерения давления газов в диапазоне от 1 до 10 ³ мм рт. ст.

Вакуумметр может быть использован для работы в лабораторных и производственных условиях. Действие приборов основано на зависимости теплопроводности газа от давления.

Вакуумметр ВТ-2А состоит из измерительной установки и одного из трех термопарных манометрических преобразователей: ЛТ-2 (рис. 2) в стеклянном корпусе, ЛТ-4М (рис. 3) в металлическом корпусе, МТ-8 (рис. 4), выполненного на фланце с металлическим уплотнителем и предназначенного для эксплуатации на металлических прогреваемых вакуумных установках.

Габариты измерительной установки ВТ-2А: 266X248X257 мм. Вес— 9 кг. Потребляемая мощность 50 вт при напряжении питающей сети 220 в± 10% и частоте 50±0,5 гц.

Вакуумметр ВТ-2А комплектуется одним преобразователем ЛТ-2 и одним преобразователем ЛТ-4М. Комплектация прибора прогреваемым до 400°С преобразователем МТ-8 производится по специальному требованию.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

	Преобразователи
Наименование	ЛТ-2	ЛТ-4М	МТ-8
Диапазон измеряемых давлений, мм рт. ст.	1 4- 103	2 10 4-10 3	5 • ИГ1 4-103
Диаметр, мм	32	32	78
Высота, мм	280	108	66
Вес, кг	0,05	0,04	0,430

Вакуумметр ВТ-3

Термопарный вакуумметр ВТ-3 предназначен для измерения давления газов в диапазоне от 5 до 10 ³ мм рт. ст.

Вакуумметр может быть использован для работы в лабораторных условиях. Действие прибора основано на зависимости теплопроводности.

газа от давления. Вакуумметр ВТ-3 состоит из измерительной установки и одного из трех термопарных манометрических преобразователей: ЛТ-2 (рис. 2, стр. 122) в стеклянном корпусе, ЛТ-4М (рис. 3, стр. 122) в металлическом корпусе, МТ-8 (рис. 4, стр. 122), выполненного на фланце с металлическим уплотнителем и предназначенного для эксплуатации на металлических прогреваемых вакуумных системах.

Габариты измерительной установки ВТ-3: 320X185X150 мм. Вес — не более 4,5 кг.

Потребляемая мощность — 35 вт при напряжении питающей сети 220 в± 10% и частоте 50±0,5 гц.

Все вакуумметры ВТ-3 комплектуются двумя преобразователями ЛТ-2 и двумя — ЛТ-4М. Комплектация прибора прогреваемым до 400° С преобразователем МТ-8 производится по специальному требованию.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Наименование	Преобразователи
	ЛТ-2	ЛТ-4М	МТ-8
Диапазон измерения давления, мм рт. ст.	54-10-3	10-4 IO-3	5- 10 —10-3
Диаметр, мм	32	32	78
Высота, мм	280	108	66
Вес, кг	0,05	0,04	0,430

Вакуумметр ВСБ-1

Блокировочный вакуумметр сопротивления ВСБ-1 (рис 1) предна значен для измерения давления газов в диапазоне от 10-² до 30 мм рт ст , а также для автоматической сигнализации о достижении заданного уровня давления Вакуумметр может быть использован для работы в лабораторных и производственных условиях Действие прибора основано на зависимости теплопроводности газа от давления Вакуум метр ВСБ-1 состоит из измерительной установки и одного юплоэлск-трпческого манометрического преобразователя МТ-6 (рис 2).

Габариты измерительной установки ВСБ-1 390x260x240 мм Вес 14 кг.

Питание вакуумметра производится oi сети переменного тока напряжением 220 в±1О°/о частотой 50±0,5 гц Мощность, потребляемая прибором, не более 140 гц.

Диапазон срабатывания блокировки по давлению от 10^_| до 30 мм рт ст.

Разрывная мощность блокировки не более 500 вт по переменному току.

Вакуумметр имеет выход для подключения внешнего измеритель кого прибора или самопишущего электронного потенциометра для ав тематической регистрации показаний.

I абариты преобразователя МТ-6 диаметр — 20 мм, длина— 175 мм Вес — 0,025 кг.

К вакуумной установке преобразователь МТ-6 подсоединяется при помощи грибкового уплотнения D_y-20.

Вакуумметры ВИТ-1А и ВИТ-2

Ионизационно-термопарные вакуумметры ВИТ-1А (рис. 1) и ВИТ-2 (рис 2) предназначены для измерения давления газов и представляют собой комбинированную установку, состоящую из ионизационного и термопарного преобразователей и электронной схемы питания и измерения.

Общий диапазон давлений, измеряемых вакуумметрами, — от 2 • 10^-1 до 5 • 10^-8 мм рт. ст.

Вакуумметры ВИТ-1А и ВИТ-2 — переносные приборы настольного типа, предназначенные для использования в лабораторных и производственных условиях.

Вакуумметр ВИТ-2 существенно отличается от вакуумметра ВИТ 1А радиочастью, собранной полностью на полупроводниках и обладающем повышенной надежностью.

Давление в диапазоне от 2 • 10 ¹ до 1 • 10*³ мм рт. ст. измеряется термопарной, а в диапазоне от 1 • 10-³ до 5 • 10-⁸ мм рт. ст. — ионизационной частью вакуумметра ВИТ-1А и от 1 • 10 ² до 5- 10-^ь мм рт. ст — иопи зационной частью вакуумметра ВИТ-2.

Термопарная часть вакуумметра рассчитана на работу с одним из термопарных манометрических преобразователей — ЛТ-2 (рис. 2. стр. 122), ЛТ-4М (рис. 3, стр 122), или МТ-8 (рис 4, стр 122), в основу действия которых положена зависимость теплопроводности газа от давления

Преобразователь ЛТ-2 выполнен в стеклянном корпусе, преобразователь ЛТ-4М—-в металлическом, а преобразователь МТ-8 — на фланце Dj-20 с металлическим уплотнением и допускает upoiрев внеш ней печью до 400° С

Ионизационная часть вакуумметра предназначена для работы с ионизационными преобразователями ЛМ-2 (рис. 3), ЛМ-3 (рис 4). ЛМ-3-2 (рис. 5).

Преобразователи ЛМ-2, ЛМ-3 и ЛМ-3-2 являются ионизационными преобразователями триодного типа с внешним коллектором Мерой давления газа служит величина коллекторного ионного тока.

Преобразователь ЛМ-2 представляет собой закрытую стеклянную конструкцию с U-образным вольфрамовым катодом Срок службы преобразователя не менее 100 ч при условии нормальной эксплуатации и давлении не выше 1 • 10³ мм рт. ст.

Ионизационный преобразователь ЛМ-3 является модификацией преобразователя ЛМ-2. Вместо вольфрамового катода в нем применен иридиевый воздухостойкий катод с покрытием из окиси иттрия. Благодаря высокой стойкости иридиевого катода к кислороду и другим химически активным веществам вакуумметр ВИТ-2 с преобразователем ЛМ-3 обеспечивает измерение давления воздуха и других газов до давления 1 • 10² мм рт. ст. Срок службы преобразователя при давлении 1 • 10^-2 мм рт.ст. не менее 100 ч. Рабочая температура иридиевого катода—около 1300°С.

Ионизационный преобразователь ЛМ-3-2 — открытого типа. Его электродная система смонтирована на металлостсклянной чашке, заваренной во фланец с металлическим уплотнением. В преобразователе возможно применение как иридиевого катода с покрытием из окиси иттрия, так и вольфрамового катода.

Конструкция катодного узла преобразователя ЛМ-3-2 обеспечивает быструю замену перегоревшего катода.

Преобразователь ЛМ-3-2 допускает прогрев внешней печью до 400° С.

Преобразователи ЛТ-2, ЛТ-4М, ЛМ-2 и ЛМ-3 рекомендуется применять как на металлических, так и на стеклянных непрогреваемых вакуумных установках, преобразователи ЛМ-3-2 и МТ-8 — на металлических прогреваемых высоковакуумных установках.

Вес вакуумметра ВИТ-1А— 16 кг, ВИТ-2— 10 кг.

Габариты вакуумметра ВИТ-1А: 390x225x210 мм, вакуумметра ВИТ-2: 320X280X215 мм.

Потребляемая мощность прибора не более 75 вт при напряжении питающей сети 220 в ±10% частотой 50 ±0,5 гц.

Вакуумметры ВИТ-1А и ВИТ-2 поставляются с комплектом запасных радиоламп, кабелями с колодками для подсоединения преобразователей, манометрическими преобразователями ЛТ-2 (2 шт.), ЛТ-4М (2 шт.), ЛМ-2 (2 шт.).

Комплектация приборов преобразователями МТ-8, ЛМ-3 и ЛМ-3-2 производится по специальному требованию. Преобразователь ЛМ-3-2 поставляется с 10 запасными катодами и 10 металлическими уплотнителями, преобразователь МТ-8 — с 10 уплотнителями.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Наименование	Преобразователи
	ЛТ-2	ЛТ-4М	МТ-8	ЛМ-2	ЛМ-3	ЛМ-3-2
Диапазон измеряемых давлений, мм рт. ст.	2-10- 4-10 3	2-10 4-4-10 3	2-10 4-4-10 3	1 10 34—510 8	110—4—4-5 -10 8	1 10 2 4-4-5-108
Диаметр, мм	32	32	78	32	32	90
Высота, мм	250	108	66	280	280	130
Вес, кг	0,05	0,04	0,430	0,05	0,05	0,5

Вакуумметр ВМБ-ЗА

Магнитный электроразрядный блокировочный вакуумметр ВМБ-ЗА (рис. 1) предназначен для измерения давления газов в металлических вакуумных установках и автоматической сш нализацпи о достижении заданного давления как в лабораторных, так и в производственных условиях.

Вакуумметр ВМБ-ЗА состоит из измерительной установки и одного из магнитных электроразрядных манометрических преобразователей ММ-13М-4 (рис. 2) или ММ-13М-4А

Действие преобразователей основано на зависимости величины разрядного тока от давления газа, в котором происходит разряд при наличии магнитного поля. Показания преобразователей зависят от рода газа, давление которого измеряется. Поэтому для измерения требуется специальная [радуировка преобразователей по данному газу Завод-изготовитель прикладывает к вакуумметру градуировочную кривую, снятую для сухого воздуха.

По своим метрическим характеристикам оба преобразователя идентичны.

Основное оглпчие преобразователя ММ-13М-4А от преобразователя ММ-13М-4 заключается в том, что конструкция первого разборная. Это позволяет производить механическую и химическую чистку деталей и корпуса преобразователя.

Вакуумметр имеет выход для подключения внешнего измерительного прибора или самопишущего электронного потенциометра для автоматической регистрации показаний.

Манометрические преобразователи присоединяются к вакуумной системе через фланец D_y-20.

Вакуумметры ВМБ-4, ВМБ-5 и ВМ-5

Магнитные электроразрядные блокировочные вакуумметры ВМБ-4, ВМБ-5 и ВМ-5 (рис. 1, 2, 3) предназначены для измерения давления газов в металлических вакуумных установках и автоматической сигнализации о достижении заданного давления как в лабораторных, так и в производственных условиях. Каждый вакуумметр состоит из измерительной установки и разборного магнитного электроразрядного манометрического преобразователя ММ-15 (рис. 4) магнетронного типа.

Действие прибора основано на зависимости величины разрядного тока преобразователя ММ-15 от давления газа.

Манометрический преобразователь ММ-15 присоединяется к вакуумной системе через фланец D_y-25 Габариты преобразователя: высота — 157 мм, диаметр — 70 мм Вес преобразователя 1,4 кг

Наименование	Вакуумметры
	ВМБ-4	ВМБ-5	ВМ-5
Диапазон измеряемых давлений, мм рт. ст.	1-10 э-ЫО-5	iio-b-i-io-5	1-Ю -И 10
Количество коммутируемых манометрических преобразователей	1	1	3
Количество каналов блокировки	1	4	—
Диапазон срабатывания блокировки, мм рт. ст.	1-10- -4110-5	1 10—*-1 • 10 5	—
Разрывная мощное ь контак гон исполнительного реле: при переменном напряжении 220 в, вт	500	500
при постоянном токе, вт	50	50	—
Электропитание: напряжение, в	220	220	220
частота, гц	50	50	50
Потребляемая мощность, вт	80	220	100
Габариты, мм	311 X 274 X 264	386 х 320 х 300	311 X 274 X 246
Вес, кг	13	15	14

Вакуумметр ВИМС-1-3

Комбинированный вакуумметр ВИМС-1-3 (рис. 1) предназначен для измерения давления газов в диапазоне от 30 до 10-⁶ мм рт. ст. В комплект вакуумметра входят инверсно-магнетронный манометрический преобразователь ММ-22 (рис. 2) с диапазоном измерения 10 ⁶-4-10 ² мм рт. ст. и манометрический теплоэлектрический преобразователь МТ-6 (рис. 3) с диапазоном измерения 10²-30 мм рт. ст.

Вакуумметр ВИМС-1-3 обеспечивает возможность периодического измерения давления в одной точке вакуумной установки при помощи инверсно-магнетронного и в трех точках — при помощи теплоэлектрических преобразователей.

Вакуумметр ВИМС-1-3 может быть использован для работы в лабораторных и производственных условиях.

Действие вакуумметра ВИМС-1-3 основано на зависимости тока электрического разряда в газе от давления (инверсно-магнетронный преобразователь) и зависимости теплопроводности газа от давления (теплоэлектрический преобразователь).

Габариты измерительной установки вакуумметра ВИМС-1-3 — 250X240X230 мм, вес — 8 кг. Питание прибора осуществляется от сети напряжением 220 д± 10%, частотой 50±0,5 гц. Потребляемая мощность не более 140 вт.

Вакуумметр ВИМС-1-3 комплектуется одним преобразователем ММ-22 п десятью преобразователями МТ-6. Комплектация преобразователем ММ-22 производится по специальному заказу.

Основные параметры датчиков, работающих в комплекте с вакуумметром ВИМС-1-3, приведены в таблице.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Наименование	Преобразователи
	МТ-6	ММ-22
Диапазон измеряемых давлений, мм рт. ст.	102 -30	10-6-=-10 2
Диаметр, мм	20	90
Высота, мм	175	70
Вес, кг	0,025	0,9

Вакуумметр ИМ-12 (рис. 2) в стеклянной колбе или МИ-12-8 (рис. 3), выполненного на фланце с металлическим уплотнением.

Вакуумметр ВИ-12

Действие вакуумметра ВИ-12 основано на эмиссии накаленным вольфрамовым катодом преобразователя электронов, которые ускоряются полем положительно заряженного анода и ионизируют газ.

Образующиеся положительные ионы уходят на отрицательно заряженный коллектор. При постоянном токе эмиссии электронов и постоянном ускоряющем напряжении на аноде число образующихся ионов пропорционально молекулярной концентрации газа. Коллекторный ионный ток подается на вход усилителя вакуумметра и служит мерой давления.

Вакуумметр ВИ-12 обеспечивает питание катода преобразователя, измерение и автоматическую стабилизацию тока эмиссии, усиление и измерение ионного тока.

В вакуумметре предусмотрен прогрев анода пропусканием тока, а также прогрев анода и коллектора электронной бомбардировкой.

Вакуумметр ВИ-12 используется преимущественно в лабораторных условиях.

Вакуумметр состоит из переносной измерительной установки, снабженной выносным блоком, и одного из двух манометрических преобра-

Вакуумметр ВИ-12 снабжен блокировкой, разрывающей цепь катода преобразователя при токе, превышающем в 1,5 раза максимальный ток установленного диапазона.

В вакуумметре предусмотрена возможность подключения самопишущего потенциометра для записи давления.

Ионизационный вакуумметр ВИ-12 (рис. 1) предназначен для измерения давления газов в диапазоне от 10⁵ до 10-¹⁰ мм рт. ст.

Манометрический преобразователь ИМ-12 применяется для преобразования сигнала давления в сигнал тока и предназначен для индикации давлений в стеклянных вакуумных установках в диапазоне от 10-⁵ до 10-¹⁰ мм рт. ст.

Преобразователь ИМ-12 допускает прогрев в печи при 400° С.

Колба преобразователя ИМ-12 изготовлена из стекла С49-2, поэтому он может быть припаян к вакуумной установке из такого же стекла.

К металлической установке преобразователь можно присоединить через переходник, ковар-стекло. Диаметр штенгеля 18 мм.

Чувствительность преобразователя, работающего в режиме вакуумметра ВИ-12, составляет 6- мм рт. ст.

Габариты преобразователя: наружный диаметр — 90 мм, длина колбы со штенгелем — 190 мм. Вес — 0,6 кг.

Преобразователь МИ-12-8 применяется для преобразования сигнала давления в сигнал тока и предназначен для измерения давлений в металлических вакуумных установках в диапазоне от 10-⁵ до 10-¹⁰ мм рт. ст.

Манометрический преобразователь МИ-12-8 смонтирован на коваро-вом цоколе, который герметично приварен к фланцу из нержавеющей стали.

Вольфрамовый катод крепится с внешней стороны анода, представляющего собой двухзаходную молибденовую спираль: коллектор —тонкий стержень, укрепленный по осп анода. Конструкция преобразователя обеспечивает быструю замену перегоревшего катода.

Преобразователь МИ-12-8 допускает прогрев в печи при 400° С.

Преобразователь МИ-12-8 присоединяется к вакуумной системе при помощи фланца D_y-50 и металлической прокладки.

Вакуумметр ВИМ-2

Инверсно-магнетронный вакуумметр ВИМ-2 предназначен для измерения давления газов в диапазоне от 1 • 10^-4 до 1 • 10-¹³ мм рт. ст.

Вакуумметр состоит из манометрического магнитно-электроразряд-ного преобразователя ММ-14М инверсно-магнетронного типа и измерительной установки с выносным блоком.

Мерой давления служит сила тока газового разряда.

Измерительная установка обеспечивает электропитание и измерение разрядного тока преобразователя

Преобразователь ММ-14М имеет линейную зависимость разрядного юка от давления в диапазоне от 1 • 10^-13 до 1 -10⁴ мм рт. ст.

Блокировка в вакуумметре защищает выходной прибор и входной электрометрический каскад усилителя от перегрузок.

Вакуумметр имеет выходы для подключения самописца и осциллографа.

Манометрический преобразователь ММ-14М изготовлен из нержавеющей стали и керамики

Преобразователь присоединяется к вакуумной системе при помощи фланца с медным уплотнителем.

Преобразователь допускает прогрев в печи до 550° С.

Электродная система преобразователя