Высоковакуумные насосы

0

Высоковакуумные пароструйные насосы являются наиболее простыми и надежными средствами откачки, позволяющими создавать низкие давления— от 10-4 до 10-12 мм рт. ст. Они широко применяются в производстве радиоламп, ламп накаливания, электроннолучевых трубок, фотоэлементов, газоразрядных и сверхвысокочастотных приборов, в производстве полупроводниковых материалов и сверхчистых тугоплавких металлов, для откачки выпрямителей, электронных микроскопов, установок для нанесения тонких пленок, масс-спектрографов, ускорителей, установок для термоядерных и космических исследований.

Характерной особенностью высоковакуумных насосов является постоянство быстроты действия в широком диапазоне рабочих давлений.

В качестве рабочей жидкости в высоковакуумных насосах применяются ртуть (марка Р-1) и высоковакуумные масла ВМ-1, ВМ-2, ВМ-5 и ВМ-7, сложные эфиры ,,ОФ и ,,ОС, кремнийорганические жидкости ВКЖ-94А, ВКЖ-94Б и ПФМС-2.

Парортутные насосы

Высоковакуумные парортутные насосы до настоящего времени находят широкое применение в промышленности и технике, несмотря на известные недостатки ртути: токсичность, высокую упругость пара при комнатной температуре, обуславливающую необходимость применения низкотемпературных ловушек; высокую химическую активность по отношению к металлам, ограничивающую выбор конструкционных материалов насосов. Они используются для откачки ртутных выпрямителей, газосветных ламп, масс-спекгрометров, ускорителей, установок для термоядерных исследований и т. д.

Широкое распространение парортугных насосов обусловлено рядом их важных достоинств: при использовании низкотемпературных ловушек они позволяют получать чистый вакуум, не загрязняя откачиваемую систему какими-либо побочными газообразными продуктами; очень стабильны в работе, так как ртуть не разлагается в кипятильнике насоса; имеют большой срок службы и мало чувствительны к прорывам атмосферы в насос, если при этом не происходит значительного уноса из него ртути.

Выпускаются высоковакуумные парортутные насосы с быстротой откачки 10, 50, 500, 1500 и 6000 лсек.

Трехступенчатые насосы Н-10Р (рис. 1) и Н-50Р (рис. 2) подобны по конструкции и отличаются высокими технико-экономическими показателями: малыми габаритными размерами и весом, небольшим расходом охлаждающей воды и малыми величинами потребляемой мощности. Вместе с тем они имеют широкий диапазон рабочих давлений (от 10-7 до 10-2 мм рт. ст. при использовании ловушек, охлаждаемых жидким азотом) и высокие значения наибольшего выпускного давления (2 мм рт. ст.). При применении специальных ловушек, охлаждаемых жидким азотом, они обеспечивают получение в прогреваемой системе давления 10-10 мм рт. ст.


Насосы снабжены долговечными электронагревателями закрытого типа, в которых электрическая спираль запрессована в керамическую массу, предохраняющую ее от окисления кислородом воздуха. Материал насоса — нержавеющая сталь Х18Н9Т.

Близким по производительности к насосам Н-10Р и Н-50Р является насос ДРН-50 (рис. 3). Насос имеет высокое значение наибольшего выпускного давления (15—20 мм рт. ст.), что позволяет использовать для него в качестве насоса предварительного разрежения водоструйный насос.

Насос ДРН-50 изготовлен из стали Ст. 3.

Насос ДРН-50 по своим технико-экономическим показателям, как высоковакуумный насос, уступает насосам Н-10Р и Н-50Р. Его рекомендуется применять как бустерный насос для работы в области давлений 10-1-10-2 мм рт. ст. В сочетании с водоструйным насосом он оказывается весьма ценным для создания предварительного разрежения в безмасляных системах откачки.


Для откачки больших объемов до высокого и сверхвысокого вакуума предназначены насосы Н-5СР (рис. 4), Н-6ТР (рис. 5) и Н-1ТР (рис. 6).

Насосы Н-5СР и Н-6ТР четырехступенчатые, сходны по конструкции, имеют сужающиеся книзу конические корпуса и отдельно присоединенные к кипятильникам эжекторные ступени. За эжекторными ступенями установлены охлаждаемые водой дисковые ловушки. Насосы имеют устройства для заливки ртути в котел и слива ее из котла.

Над первыми ступенями насосов во впускном патрубке устанавливаются охлаждаемые водой колпачковые отражатели, предотвращающие рассеивание ртутного пара из струи в откачиваемую систему.

Насосы обладают высокими технико-экономическими показателями. При применении специальных ловушек, охлаждаемых жидким азотом, они позволяют создавать в прогреваемых системах давления ниже 1010 мм рт. ст.


Насосы изготавливаются из стали Х18Н9Т. Наряду с насосом Н-5СР выпускается также его модификация: насос Н-5СР-1, предназначаемый для прогреваемых вакуумных систем и отличающийся тем, что вместо обычного резинового уплотнителя в нем применено прогреваемое уплотнение с медной прокладкой.

Отличным по конструкции от описанных парортутных насосов является трехступенчатый насос Н-1ТР, изготавливаемый из стали 20. Насос обладает сравнительно невысоким наибольшим выпускным давлением (0,3 мм рт. ст.) и потребляет небольшую мощность (1,3 кет).

Наименование

Насосы

Н-10Р

Н-50Р

Н-5СР

Н-1ТР

Н-6ТР

ДРН-50

ЭН-100Р

Рабочий диапазон давлений, мм рт. ст.

1-10-74-

4-2-10”2

1-107 4-4-1-10” 2

1-107 4-4-1•10”3

1 • 10 7 4-4-2-10”4

1-107 4-4-1-10”3

1-10”7 4- 1,0

1,5-10”6 4-1,0

Средняя быстрота откачки воздуха, л/сек

15-20

50-70

600

1500

6000

30 при 10”1 мм рт. ст.

100 при 10-1 мм рт, ст.

Предельный вакуум, мм рт. ст.

1-10-7

1-Ю”7

МО”7

1-Ю”7

1-Ю-7

х 1-10- 7

х 1.5-10-6

Наибольшее выпускное давление, мм рт. ст.

2,5

2,5

2,0

0.3

2,0

15-20

50

Мощность электрона) ревателя, кет

0,2

0,35

1,7

1,3

5,0

2,5

4

Расход воды, л/час

7

25

200

300

650

400

Количество рабочей жидкости, см3

35

250

500

1000

2500

250

1500

Рабочая-жидкость

р-1

Р-1

Р-1

р-1

Р-1

Р-1

Р-1

Вес насоса, кг

1,Д

3,1

70

60

235

25

96

Диаметр условного прохода, мм: впускной патрубок

3,8*

60*

160

260

500

50

80

выпускной патрубок

8

7

30

50

50

10

80

Высота, мм

235

272

726

729

1468

875

1373

Размеры в плане, мм

90X160

140×212

335X435

370X500

666×720

280X280

560×570

Необходимая быстрота откачки вспомогательного насоса, л/сек

0,4

0,35

1,5

3,0

5,0

0,4

0,6

Примечание. Звездочкой отмечен фланец с металлическим уплотнителем.

Паромасляные насосы

Высоковакуумные паромасляные насосы наиболее широко распространены в промышленности, что обусловлено простотой их устройства и надежностью работы. Используемые в насосах в качестве рабочих жидкостей вакуумные масла совершенно безвредны, не взаимодействуют с конструкционными материалами и обладают низкой упругостью пара при комнатной температуре. При помощи высоковакуумных паромасляных насосов можно получать остаточные давления ниже 10-6 мм рт. ст. без применения низкотемпературных ловушек.

Выпускается значительный ассортимент различных высоковакуумных паромасляных насосов как общего, так и специального назначения с быстротой откачки от 5 до 38 000 л/сек.

Насосы общего назначения составляют ряд с быстротой откачки 100 л/сек (Н-1С-2), 500 л/сек (Н-5СМ-1), 1500 л/сек (Н-2Т), 3000 л/сек (Н-5Т) и 6000 л)сек (Н-8Т). Все эти насосы фракционирующие, снабжаются колпачковыми маслоотражателями, имеют алюминиевые трех-и четырехступенчатые паропроводы и корпус из стали 20.

Насосы Н-2Т, Н-5Т и Н-8Т (рис. 1 и 2) — трехступенчатые, идентичны по конструкции, имеют электронагреватели открытого типа.

Насосы Н-1С-2 и Н-5СМ-1 имеют укороченную рубашку водяного охлаждения и улучшенное фракционирование масла в кипятильнике.

Наряду с насосами общего назначения выпускается значительное число типов высоковакуумных паромасляных насосов специального назначения. Так, паромасляные насосы серии ИО-76, насосы ММ-40 и ЦВЛ-100 применяются главным образом в электровакуумной промышленности.

Насосы НВО-40 и НВО-40М (рис. 3) имеют воздушное охлаждение и применяются в масс-спектрометрических тсчеискателях и в других передвижных вакуумных установках. У насоса НВО-40М имеются маслоотражатель и нагреватель закрытого типа с электрической спиралью, запрессованной в керамику.

Насос Н-015С (рис. 4) малогабаритный, предназначен для использования в лабораториях и небольших промышленных установках. Насос имеет маслоотражатель колпачкового типа, запрессованный в корпус и съемный кипятильник для облегчения его очистки; электронагреватель насоса закрытого типа.

Насос Н-1С-Б (рис. 5) имеет маслоотражатель и специальную медную ловушку, охлаждаемую за счет теплопроводности от корпуса насоса. На кипятильник наварена водяная рубашка, позволяющая охлаждать насос за 8—10 мин после выключения нагревателя. Нагреватель закрытого типа. Насос применяется преимущественно в конвейерных линиях откачки электроннолучевых трубок. Может быть использован и в других вакуумных установках, где требуется быстрое охлаждение насоса и предъявляются высокие требования к проникновению масла в откачиваемую систему.

Насос Н-005 (рис. 6) имеет малые габариты, высокое значение наибольшего выпускного давления, широкий диапазон рабочих давлений и предназначен главным образом для установки на автоматах откачки.

Насосы Н-5СМ (рис. 7), Н-2Т-3 (рис. 8), Н-5Т-3 и Н-8ТМ изготавливаются из нержавеющей стали Х18Н9Т и предназначаются преимущественно для откачки сверхвысоковакуумных установок.

Насосы Н-20Т и Н-40Т предназначены для откачки крупных вакуумных установок В качестве выходной ступени насосов используется бустерный насос БН-3.


Наименование

Насосы

11-1 С-2

Н-5СМ-1

11-2Т

Н-5Т

Н-8Т

Рабочий диапазон давлений, мм рт. ст.

5-Ю7 ч—110-3

5-Ю7

:5-104

3- Ю6 4-

4- 2-10-4

З Ю6 4-4-2-10 4

3- 10-6 4-

4- 2-104

Средняя быстрота откачки воздуха, д , сек

100

500

1500

3000

6000

Предельный вакуум, мм рт. ст.

5-10-7

5-ИГ 7

-,3-РГ6

3-10”е

3-НГ 6

Наибольшее выпускное давление, мм рт. ст.

0,4

0,15

0,1

0,1

0,1

Мощность подо ревателя, кит

0,5

0,7

1,5

2,0

2,8

Расход воды на охлаждение насоса, лас

50

120

200

350

500

Количество рабочей жидкости, см-

100

500

1000

1500

4000

Рабочая жидкость

Вакуумное масло ВМ-1

Вес, кг

10

26

41

79

148

Диаметр условного прохода, мм:

впускного патрубка

86

160

260

380

500

выпускного патрубка

17

32

50

50

85

Высота насоса, мм

365

550

610

800

1037

Размеры в плане, мм

210X160

ззохзоо

452X370

596X537

825 x 650

Необходимая быстрота откачки механического насоса, л,сек

0,4

2,0

4,0

7,0

15,0

Наименование

Насосы

ММ-40А

ЦВ.1-100С

ИО-76 001

И О-76 013

ИО-76 017

ИО-76 012

ИО-76 014

ИО-76 016

Рабочий диапазон давлений, мм рт. ст.

5-10-с —4-2-104

3- 10 6 4-

4- 3-Ю-4

1-10-6 4—4-210-4

7-10 7 -4-4-2-10 4

71O7 4—Х2-101

7-Ю7 4-4-2-10 1

7-Ю7 -4-ж2-1О4

7-10 н-4-2-10-4

Средняя быстрота откачки воздуха, л сек

25

100

6,2

15

30

60

100

500

Предельный вакуум, мм рт ст.

5-10-6

310-6

С1.106

7-10 7

7-10

7-107

7-10 7

7-КГ7

Наибольшее выпускное давление, мм рт. ст.

0,05

0,1

0,2

0,5

0,5

0,5

0,5

0,7-1,0

Мощность подогревателя, кет

0,45

0,450

0,11

0,4

0,45

0,5

1,15

2,0

Расход воды на охлаждение насоса (оптимальный), л час

50

50

30

60

90

120

150

210

Количество рабочей жидкости, см

40

75

30

30

40

50

150

300

Рабочая жидкость

Вакуумное масло ВМ-1

Высота насоса, мм

455

465

155

300

345

440

480

540

Размеры в плане, мм

205×116

265X130

88×72

130X82

146X96

220×116

216X172

320X220

Вес, кг

6,9

6,9

0,6

1,6

2,8

5,6

7,3

14,0

Необходимая быстрота откачки механического насоса, леек

0,2

0,4

0,007

0,007

0,015

0,03

0,05

0,16




Leave A Reply