Электроннолучевой испаритель

Электроннолучевой испаритель (рис. 1) предназначен для испарения в вакууме различных металлов, сплавов и полупроводников.

Испаритель можно использовать в установках для получения пленок самого разнообразного назначения: электропроводящих, полупроводящих, отражающих, оптических, магнитных, геттерных, многослойных и т. д.

Действие испарителя основано на нагреве стержня из испаряемого материала, находящегося в охлаждаемом водой тигле, электронным лучом, который сфокусирован и завернут поперечным магнитным полем на угол, несколько больший 180° (рис. 2).

Корпус испарителя и большая часть деталей изготовлены из нержавеющей стали, охлаждаемый тигель — из меди. Магнитное поле создается небольшим постоянным магнитом, помещенным в вакууме.

Для испарителя характерно большое количество испаряемого материала, высокая скорость испарения, что достшается хорошей фокусировкой электронного луча, подачей испаряемого материала и вынесением пушки из юны конденсации паров

Электроннолучевой испаритель укомплектован блоком питания, резиновыми и фторопластовыми уплотнителями и вольфрамовыми катодами