Агрегат АВГИ-5-3

Сверхвысоковакуумный геггерно-ионный вакуумный агрегат АВГИ-5-3 (рис. 1) предназначен для откачки больших прогреваемых технологических объемов (камер).

Агрегат АВГИ-5-3 представляет собой сверхвысоковакуумную прогреваемую откачную установку, принципиальная схема которой представлена на рис. 2.

Агрегат состоит из сверхвысоковакуумного насоса ГИН-5, насоса Н-5СМ-1 вакуумной арматуры.

Для измерения давлений в области низкого вакуума на агрегате установлен термопарный манометрический преобразователь ЛТ-4М Измерение давлений в области высокого и сверхвысокого вакуума производится манометрическими преобразователями ММ-13М-4 и МИ-12-7.

Все операции по управлению агрегатом производятся дистанционно с пульта и стойки управления. Исключение составляет подача охлаждающей воды. Система водяного охлаждения имеет два гидрореле, отключающие питание насосов при прекращении поступления воды.

Азотная и ионная ловушки препятствуют проникновению паров масла из паромасляного и механического насосов в откачиваемый объем. Линия байпасной откачки предназначена для откачки насоса ПШ-5 и рабочего объема от атмосферного давления до 1() ² мм рт. ст. без выключения паромасляного насоса. При этом сокращается время пуска после вскрытия системы на атмосферу. Во время откачки через байпас паромасляный насос отсоединяется от механического насоса закрытием вентиля П_у-32ЭП-2 и работает с бачком предварительного разрежения.

После пуска геттерно-ионного насоса агрегат может работать с па-ромасляным насосом и без него. Во втором случае производится отсоединение паромасляного насоса вентилем 100ТД-У. Работа с паромас-ляным насосом целесообразна, когда в составе откачиваемых газов имеются плохо откачиваемые геттерно-ионным насосом инертные газы.

В спектре остаточных газов в агрегате (рис. 3) не содержится тяжелых углеводородов, несмотря на то, что агрегат имеет масляные средства откачки. Это объясняется хорошими защитными свойствами ионной и а ютной ловушек, а также самого геттерно-ионного насоса, в котором проходят процессы диссоциации углеводородов и сорбции продуктов разложения.

Применение насоса ПШ-5 позволяет откачивать воздух из больших вакуумных камер с быстротой откачки 5000 л)сек, азот — с быстротой 10000 л/сек, водород — с быстротой 20000 л/сек и получать предельный вакуум 3- 10 ⁹ мм рт. ст.

Агрегат укомплектован пультом и стойкой управления, медными и резиновыми уплотнителями, гнтано-молибденовой проволокой и инструкцией по эксплуатации.

ГАБАРИТЫ И ВЕС