Сверхвысоковакуумные турбомолекулярные насосы и агрегаты

Насосы ТВН-200 и ТМН-200

Турбомолекулярные вакуумные насосы, сходные по устройству с многоступенчатыми осевыми компрессорами, предназначены для работы в области высокого и сверхвысокого вакуума (от 10 ³ до 10 ¹⁰ мм рт. ст.). По сравнению с молекулярными насосами турбомолекулярные насосы не имеют малых зазоров, допускают прогрев области впускного патрубка до 150° С, более надежны в эксплуатации и, главное, имеют значительно более высокую быстроту откачки.

При достижении остаточного давления во впускном патрубке турбо-молекулярных насосов не содержится паров масла. В противоположность пароструйным насосам турбомолекулярные насосы начинают работать сразу же после пуска и нс ухудшают своих характеристик от прорывов атмосферного воздуха.

Большая быстрота без-масляной откачки в широком диапазоне давлений, отсутствие ловушек и затворов— важные преимущества турбомо.текулярных насосов по сравнению с паромасляными.

Турбомолекулярные насосы применяются для откачки крупных электронных ламп, в масс-спектрометрии, ускорителях элементарных частиц, в установках для имитации космических условий и т. д.

Схема устройства турбомолекулярноо насоса показана на рис. I В корпусе / с закрепленными в нем дисками 2 вращается ротор ) с дисками. В дисках имеются косые прорези, причем прорези в роторных дисках расположены зеркально по отношению к прорезям в дисках корпуса. При вращении ротора откачка происходит за счет преимущественного отражения молекул от середины ротора к краям. Толщина дисков в описываемом насосе составляет несколько миллиметров, расстояние между дисками 1 мм. Радиальные зазоры также могут составлять около 1 мм, поскольку обратное протекание газа через такие зазоры при низких давлениях значительно меньше достигаемой быстроты откачки. Диски имеют большое число параллельно работающих прорезей, благодаря чему достигается большая быстрота откачки.

Выпускаются два типа турбомолекулярных насосов: ТВН-200 и ТМН-200.

В отличие от насоса ТВН-200 турбомолекулярный насос ТМН-200 (рис. 2) имеет встроенный герметичный привод, работающий от высокочастотного генератора.

Насос ТВА-200

Сверхвысоковакуумный агрегат ТВА-200 создан на базе гурбомоле-кулярпого насоса ТВН-200 и применяется для откачки крупных электронных ламп, в масс-спектрометрии, в ускорителях элементарных частиц, в ушановках для имитации космических условии и т. д.

Агрегат состоит из насосов ТВН-200, ВН-2МГ, переходника и магнитного клапана, предназначенного для автоматического перекрытия линии предварительного разрежения между переходником и механическим вакуумным насосом ВН-2МГ. Для охлаждения подшипников насоса ТВН-200 предусмотрена водяная система с гидрореле. Напуск воздуха при остановке насоса осуществляется через осушающий фильтр вентилем. Все эти элементы, а также электрощиток собраны на раме. Для сокращения времени достижения остаточного давления необходимо обезгазить откачиваемую систему при температуре от 250 до 300° С в течение нескольких часов.